您當(dāng)前的位置:  新聞資訊
  • 10
    2025-10
    開展蒸發(fā)臺坩堝清潔前，需先完成設(shè)備停機(jī)與冷卻操作，待坩堝溫度降至室溫后，使用半導(dǎo)體行業(yè)專用的聚四氟乙烯或陶瓷工具，輕輕清理內(nèi)壁附著的塊狀工藝殘渣，避免使用金屬工具刮傷坩堝內(nèi)壁...
  • 10
    2025-10
    當(dāng)蒸發(fā)臺行星鍋出現(xiàn)加熱不均的情況時，可按步驟排查：先檢查加熱源狀態(tài)，電加熱類型需查看加熱管是否存在局部損壞或接線松動，蒸汽加熱類型則需確認(rèn)蒸汽管道是否堵塞...
  • 09
    2025-10
    延長離子源弧光室壽命需從材質(zhì)適配、維護(hù)管理與參數(shù)調(diào)控三方面入手。材質(zhì)選擇上，優(yōu)先采用抗等離子體腐蝕的高純陶瓷或特種合金材質(zhì)，減少弧光放電與離子沖刷對腔體的損耗...
  • 09
    2025-10
    清潔操作需先完成前期準(zhǔn)備：確認(rèn)蒸發(fā)臺完全停機(jī)斷電，待腔體溫度降至室溫后緩慢泄壓，避免壓力驟變損傷腔體內(nèi)壁；拆除與腔體連接的蒸發(fā)臺配件（如真空閥門、蒸發(fā)源支撐組件）時，需做好部件編號與安裝位置標(biāo)記，使用專用工具輕拆輕放，避免配件表面劃傷或結(jié)構(gòu)變形。
  • 09
    2025-10
    從實(shí)際影響來看，當(dāng)注入機(jī)離子源燈絲與柵極組件的間隙過大時，柵極對離子的約束能力減弱，離子束易向周邊擴(kuò)散，導(dǎo)致束流聚焦點(diǎn)模糊、束斑直徑增大，無法準(zhǔn)確作用于晶圓目標(biāo)區(qū)域...
  • 09
    2025-10
    在安裝流程方面，需先開展前期準(zhǔn)備工作，核對注入機(jī)離子源配件的型號、規(guī)格與設(shè)備適配性，清理配件表面及設(shè)備安裝工位的油污、粉塵等雜質(zhì)，避免異物影響安裝精度...
  • 29
    2025-09
    材質(zhì)適配是低溫工況下半導(dǎo)體設(shè)備配件的核心前提。需優(yōu)先選擇低溫韌性優(yōu)異的材質(zhì)，機(jī)械結(jié)構(gòu)類配件可選用低溫下不易脆裂的金屬材質(zhì)，避免因低溫環(huán)境導(dǎo)致結(jié)構(gòu)損壞...
  • 29
    2025-09
    核心性能參數(shù)驗(yàn)收是首要指標(biāo)，需針對丹東半導(dǎo)體設(shè)備的核心功能開展測試：參考SEMI E157對半導(dǎo)體設(shè)備運(yùn)動精度的要求，晶圓傳輸定位精度需控制在±0.01mm以內(nèi)，滿足12英寸及以下晶圓的加工適配需求...
  • 29
    2025-09
    外觀檢測是丹東離子源配件出廠的基礎(chǔ)環(huán)節(jié)，需檢查配件表面是否存在劃痕、變形、毛刺等瑕疵，金屬類配件還需確認(rèn)鍍層均勻度與附著強(qiáng)度，避免因外觀缺陷導(dǎo)致安裝間隙過大或密封不嚴(yán)。
  • 29
    2025-09
    材質(zhì)是蒸發(fā)臺坩堝選型的首要核心參數(shù)，需根據(jù)處理物料的化學(xué)性質(zhì)與溫度條件選擇。例如，處理酸性物料時，可選用耐酸陶瓷材質(zhì)的蒸發(fā)臺坩堝；涉及高溫熔融工藝，則建議選擇耐高溫剛玉材質(zhì)，避免物料與坩堝發(fā)生化學(xué)反應(yīng)或設(shè)備因高溫?fù)p壞。