離子源弧光室的散熱結(jié)構(gòu)

離子源弧光室工作時(shí)處于高溫放電工況，電子與氣體分子碰撞及電極損耗會(huì)持續(xù)產(chǎn)生大量熱量，散熱結(jié)構(gòu)直接影響其運(yùn)行穩(wěn)定性、使用壽命及離子純度，是離子源弧光室適配嚴(yán)苛工藝的核心設(shè)計(jì)之一。合理的散熱結(jié)構(gòu)可避免腔壁高溫?fù)]發(fā)、材質(zhì)老化，減少雜質(zhì)污染離子束，適配半導(dǎo)體離子注入、等離子刻蝕等多領(lǐng)域的長時(shí)間生產(chǎn)需求，不同工況下的離子源弧光室需搭配對應(yīng)的散熱方案。

水冷散熱結(jié)構(gòu)是離子源弧光室最常用的散熱方式，適配中高功率工況。該結(jié)構(gòu)在弧光室腔壁內(nèi)置循環(huán)水道，通過冷卻液持續(xù)帶走熱量，控溫效果穩(wěn)定，能將腔壁溫度控制在合理范圍，避免高溫導(dǎo)致的結(jié)構(gòu)形變，廣泛應(yīng)用于高劑量離子注入等發(fā)熱量大的場景，兼顧散熱效率與結(jié)構(gòu)密封性。

風(fēng)冷散熱結(jié)構(gòu)適配低功率離子源弧光室，主打輕量化與便捷性。通過內(nèi)置散熱片配合氣流循環(huán)，快速散發(fā)腔體內(nèi)多余熱量，無需復(fù)雜的水路布局，安裝維護(hù)簡便，適合小型離子源設(shè)備及低發(fā)熱工藝，能滿足基礎(chǔ)散熱需求，兼顧成本與實(shí)用性。

此外，散熱涂層輔助提升散熱效果，多搭配水冷或風(fēng)冷使用。在離子源弧光室腔壁涂覆高導(dǎo)熱涂層，加快熱量傳導(dǎo)，減少局部積熱，適配精密半導(dǎo)體制造等對溫度控制要求較高的場景。各類散熱結(jié)構(gòu)按需搭配，可充分適配不同功率、不同工藝的離子源運(yùn)行訴求。